半導體製造技術 [繁體中文] [PDF] [29.5 MB]
【檔案名稱】：半導體製造技術
【檔案格式】：PDF
【檔案大小】：29.5 MB
【檔案來源】：滄海書局
【檔案語言】：繁體中文
【內容頁數】：926頁，每頁均圖文講解！
【內容簡介】：
- 半導體製造技術 -
對於半導體製造技術從晶圓準備、次微米製程及封裝測試方面皆做完整詳盡的介紹。
‧最深入淺出、淺顯易懂的字詞揭示出原文書之精湛內容。
‧不論是在學研究生或是實際線上工程師而言，皆是一本優良的技術課程教材。
第01章 半導體工業簡介
第02章 半導體材料特性
第03章 元件技術
第04章 矽與晶圓準備
第05章 半導體製造之化學特性
第06章 半導體製造廠之污染控制
第07章 量測與缺陷
第08章 製程反應室之氣體控制
第09章 IC製造概述
第10章 氧化
第11章 沈積
第12章 金屬化
第13章 微影：氣相塗底至軟烤
第14章 微影：對準與曝光
第15章 微影：光阻顯影與先進雕像
第16章 蝕刻
第17章 離子植入
第18章 化學機械平坦化
第19章 晶圓測試
第20章 裝配與封裝
附錄A 化學品及其安全性
附錄B 無塵室中的污染控制
附錄C 單位
附錄D 以氧化物厚度為函數的顏色
附錄E 光阻化學品概論
附錄F 蝕刻化學品
下載:
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